SCI系列對射測量半導(dǎo)體晶圓厚度
客戶痛點與需求
半導(dǎo)體晶圓器件通常由多層薄膜組成，每一層的材料和結(jié)構(gòu)都可能不同。SCI系列光譜共焦位移傳感器擁有極高的穩(wěn)定性能，可以實現(xiàn)對晶圓厚度的微米級測量，能輕松應(yīng)對高透明、高反光、低反射率、粗糙等不同形狀和材質(zhì)的物料，解決因各種材質(zhì)影響而導(dǎo)致信號無法穩(wěn)定回傳的難題。
半導(dǎo)體晶圓器件通常由多層薄膜組成，每一層的材料和結(jié)構(gòu)都可能不同。SCI系列光譜共焦位移傳感器擁有極高的穩(wěn)定性能，可以實現(xiàn)對晶圓厚度的微米級測量，能輕松應(yīng)對高透明、高反光、低反射率、粗糙等不同形狀和材質(zhì)的物料，解決因各種材質(zhì)影響而導(dǎo)致信號無法穩(wěn)定回傳的難題。